悬浮区熔法
xuán fú qū róng fǎ · ㄒㄩㄢˊ ㄈㄨˊ ㄑㄩ ㄖㄨㄥˊ ㄈㄚˇ
- 字母
- xuan fu qu rong fa
- 首字母
- xfqrf
- 注音符号
- ㄒㄩㄢ ㄈㄨ ㄑㄩ ㄖㄨㄥ ㄈㄚ
- 注音首符
- ㄒㄈㄑㄖㄈ
是在20世纪50年代提出并很快被应用到晶体制备技术中。在悬浮区熔法中，使圆柱形硅棒固定于垂直方向，用高频感应线圈在氩气气氛中加热，使棒的底部和在其下部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴，这两个棒朝相反方向旋转。然后将在多晶棒与籽晶间只靠表面张力形成的熔区沿棒长逐步向上移动，将其转换成单晶。