对准精度
duì zhǔn jīng dù · ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
- 字母
- dui zhun jing du
- 首字母
- dzjd
- 注音符号
- ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
- 注音首符
- ㄉㄓㄐㄉ
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
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