投影透镜
tóu yǐng tòu jìng · ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ
- 字母
- tou ying tou jing
- 首字母
- tytj
- 注音符号
- ㄊㄡ ㄧㄥ ㄊㄡ ㄐㄧㄥ
- 注音首符
- ㄊㄧㄊㄐ
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。
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