扩散炉
kuò sàn lú · ㄎㄨㄛˋ ㄙㄢˋ ㄌㄨˊ
- 字母
- kuo san lu
- 首字母
- ksl
- 注音符号
- ㄎㄨㄛ ㄙㄢ ㄌㄨ
- 注音首符
- ㄎㄙㄌ
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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