磁控溅射法
cí kòng jiàn shè fǎ · ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ
- 字母
- ci kong jian she fa
- 首字母
- ckjsf
- 注音符号
- ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ
- 注音首符
- ㄘㄎㄐㄕㄈ
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
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