离子注入机
lí zi zhù rù jī · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄓㄨˋ ㄖㄨˋ ㄐㄧ
- 字母
- li zi zhu ru ji
- 首字母
- lzzrj
- 注音符号
- ㄌㄧ ㄗ ㄓㄨ ㄖㄨ ㄐㄧ
- 注音首符
- ㄌㄗㄓㄖㄐ
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
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