离子铣
lí zi xǐ · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
- 字母
- li zi xi
- 首字母
- lzx
- 注音符号
- ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ
- 注音首符
- ㄌㄗㄒ
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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