蒸镀
zhēng dù · ㄓㄥ ㄉㄨˋ
- 字母
- zheng du
- 首字母
- zd
- 注音符号
- ㄓㄥ ㄉㄨ
- 注音首符
- ㄓㄉ
真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
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