衍射光学元件
yǎn shè guāng xué yuán jiàn · ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
- 字母
- yan she guang xue yuan jian
- 首字母
- ysgxyj
- 注音符号
- ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ
- 注音首符
- ㄧㄕㄍㄒㄩㄐ
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
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